Описание

Вертикальные трубчатые печи V-L предназначены для создания самого низкого достижимого рабочего давления. Возможность создания вакуума обеспечивает максимальную чистоту рабочей среды.

Рабочая камера вертикальной трубчатой печи V-L может автоматически подниматься и опускаться. Внутри печи находится кварцевая трубка, в которой создается высокий вакуум. Рабочая камера печи может принимать два положения. В первом случае рабочая камера поднимается, и кварцевая трубка остается в исходном положении. Эта операция выполняется по завершении термообработки для быстрого охлаждения образца в среде вакуума, воздуха или инертного газа. В другом положении можно загружать/выгружать образцы. Кварцевая трубка автоматически подсоединяется к рабочей камере, рабочая камера и кварцевая трубка поднимаются, открывая пространство для загрузки. После загрузки рабочая камера возвращается в нижнее положение. Кварцевая трубка герметично закрывается, и начинается процесс термообработки.

Проволочные нагревательные элементы печи изготавливаются из фехраля (CrFeAl). Теплоизоляция изготавливается из керамического волокна. Для измерения температуры используются термопары. Максимальная рабочая температура ограничена возможностями кварцевой трубки и составляет 1050 °C в среде вакуума. Кварцевая трубка запаяна с верхнего конца. К открытому нижнему концу трубки подсоединяется вакуумный насос, а герметичность обеспечивается полимерным уплотнением. Полезное пространство трубки: диаметр 180 мм, высота 300 мм. В таком малом объеме (около 2 л) можно максимально быстро создать вакуум. Также кварцевая трубка обеспечивает высокую степень чистоты рабочей среды. Данные печи отличаются малым временем охлаждения и, соответственно, возможностью снова приступать к работе, не теряя времени.

В кварцевой трубке можно создавать вакуум вплоть до высокого, т.е. выше 5 x 10-6 мбар. Управление рабочей средой осуществляется с помощью различного контрольно-измерительного оборудования. Для создания вакуума используются различные вакуумные насосы, в зависимости от требуемого уровня.

Технические характеристики

Теплоизоляция печи изготавливается из керамического волокна. Проволочные нагревательные элементы изготовлены из фехраля (CrFeAl). С верхней стороны печь закрывается теплоизоляционной заглушкой из керамического волокна. Печь имеет три зоны нагрева, регулирование температуры в которых выполняется с помощью программного обеспечения, позволяя добиться высокой однородности температуры. Измерение температуры выполняют термопары, установленные в каждой зоне нагрева печи, а для защиты от перегрева используется еще одна специальная термопара.

Максимальная рабочая температура печи 1050 °C ограничена возможностями кварцевой трубки в среде вакуума. Кварцевая трубка запаяна с верхнего конца, а с другого конца находится фланец, обеспечивающий герметичное уплотнение при подсоединении к площадке, к которой снизу крепится вакуумный насос. Металлические экраны защиты от излучений отражают теплоизлучение, направленное в сторону площадки.

Снизу подсоединяется трубопровод подачи газа, верхний конец которого расположен на 300 мм выше площадки, так что подача газа осуществляется сверху вниз. Герметичный фланец в нижней части оснащен системой газоотведения. Сквозь фланец проходят несколько термопар, которые могут быть установлены в нужное положение внутри кварцевой трубки. Значения температуры, измеряемой термопарами, отображаются на сенсорном дисплее печи с автоматическим управлением.

Технические детали

V-L 180-300/10-1G

V-L 450-600/10-1G